是采用工業蒸汽對純水進行加熱。

并通過二次蒸發產生潔凈蒸汽、控制好純水質量、使用設計制造完善的潔凈蒸汽發生器及輸送系統，從而保證進入用汽設備的蒸汽品質，滿足生產工藝的需求。

典型的潔凈蒸汽發生器是即熱式潔凈蒸汽發生器，其參考醫藥行業純蒸汽發生器的原理，工業蒸汽對純水加熱后，被加熱至飽和態的純水輸送至閃蒸罐進行降壓蒸發。

這種潔凈蒸汽發生器由于沒有蓄熱能力，潔凈蒸汽使用負載波動容易導致出口蒸汽帶水，形成二次污染。

在負載波動的應用中，潔凈蒸汽的壓力也會有較大的波動。所以嚴格的應用中，一般不控制工業蒸汽，增大設備選型來克服這個缺點。

此種潔凈蒸汽發生器的運行成本較高，工業蒸汽與潔凈蒸汽的消耗比例基本上是1.4：1。

即熱式潔凈蒸汽發生器的配套要求較高，純水的消耗量也較高。潔凈蒸汽發生器的原理其適合嚴格要求的潔凈蒸汽應用。

另外一種潔凈蒸汽發生器是參考再沸器和工業鍋爐的原理，純水被輸送至容積式換熱器內，被加熱管內的工業蒸汽加熱，產生氣泡蒸發脫離液面，產生潔凈蒸汽。

此種潔凈蒸汽發生器有較好的蓄熱能力和應對負載的調節性。但也正是由于其蓄熱能力，意味著氣泡從骯臟的爐水中脫離時，難免形成汽水共騰，導致潔凈蒸汽的污染。