擴散泵作為真空系統的主泵已經有幾十年的歷史，傳統的真空鍍膜設備擴散泵加熱是用耗電里比較高的電陽絲通過燒紅來烘烤真空鍋爐《擴散泵)底部，從而加熱里面的油來使真空泵里面的溫度上升來達到設備的工作要求。這種加熱方式使得大部分的里散發到空氣中，導致熱量損失大，使得工作環境溫度變高。雖然電爐盤制作成本低廉，但存在著:加熱速度慢、容易斷絲、加熱效能下，能耗量大等諸多缺點。還有導線接入區域溫度過高觸電,區域極易氧化以及人身觸電的的危險。

目前采用電磁加熱方式它可以大大改變這種現象。在實際使用中，擴散泵需要在一定的壓力范圍內，快速穩定高效的運行，對于擴散泵加熱，采用電磁加熱有著一定的優勢

一、高效快捷

電磁加熱速度快、熱效率高、相比電爐盤加快了1/3設備的啟動時間，大大提高了工作效率，也就是省電比電爐盤30%以上。

二、溫度控制精度高：采用電磁感應方法加熱，可以實現對擴散泵的精確控制和實時調節，大大提高了穩定性和可靠性。

三、安全環保：電磁加熱無需燃燒任何燃料，沒有廢氣產生，不會對環境造成污染.

四．當擴散泵底部需要降溫的時候，電爐盤由于自身發熱再傳遞給泵底，如果需要降溫時電爐盤雖然斷電了，但是本身還是有很高的溫度，這個時候就需要人工去把電爐盤拉出來放在外部自然冷卻；改用電磁加熱器就不需要這個環節，因為電磁加熱爐盤線圈是產生渦流使擴散泵底部自身加熱，電磁加熱爐盤本身沒有溫度，溫度到了斷電，本身也沒有余熱。

五．使用壽命

擴散泵電磁加熱爐盤采用耐高溫銅芯線制作，使用壽命至少5年以上，電爐盤由于長時間處于高溫，容易燒斷電熱絲，一年應該要換幾個。

電磁加熱實施方案

1.確定加熱模式和參數：通過擴散泵溫度傳感器采集到擴散泵表面和內部的溫度信息，然后根據固定的加熱模式和參數對實際加熱情況進行控制。

2.設計電磁加熱器：根據擴散泵的形狀和尺寸，設計合理的電磁加熱器的大小和形狀，并選用適當的電磁感應加熱裝置。

3.安裝和調試：安裝電磁加熱器、傳感器和控制器等設備，并調試擴散泵加熱系統，確保其良好的工作狀態。

因此，無論是在節能上，還是在安全和使用壽命上，變頻電磁加熱器均更高一籌。