硫化床立式管式爐，爐管為高純石英管，爐管內部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔徑可單獨定制。粉末可放在多孔石英板上，氣體

硫化床立式管式爐，爐管為高純石英管，爐管內部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔徑可單獨定制。粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區域，進行沉積實驗 。硫化床立式管式爐，適用于CVD工藝，如碳化硅涂層、陶瓷襯底導電性測試、二維材料生長、ZnO納米結構可控生長、陶瓷電容器（MLCC）氣氛燒結等實驗，屬于管式爐的一種。

立式管式爐的優勢：

采用PID方式調節控溫，可設置30段升降溫程序。

控溫精度±1oC。

具有過溫保護、斷偶保護，儀表具有溫度自整定的功能。

觸摸屏操控，數據可儲存可拷貝。

采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡。

注意： 在通入氣體懸浮起樣品顆粒時，也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區，所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節氣體流量等 。