薄膜小圓形平面靶傾斜磁控濺射鍍膜均勻性研究付學成，徐錦濱，烏李瑛，等利用遺傳算法定量分析Ni/Cr多層膜俄歇深度譜李靜，譚張華，劉星星，

薄膜

小圓形平面靶傾斜磁控濺射鍍膜均勻性研究

付學成，徐錦濱，烏李瑛，等

利用遺傳算法定量分析Ni/Cr多層膜俄歇深度譜

李靜，譚張華，劉星星，等

稀土鋯酸鹽熱障涂層的相穩定性和界面結合性能研究

白明遠，王鑫，甄真，等

射頻磁控濺射對PET基材制備鋁薄膜的性能影響

張健，牛夏斌，李建浩，等

《熒光檢測分析用干涉濾光片》標準解析

任少鵬，高鵬，王瑞生，等

溶膠-凝膠法制備AZO薄膜的研究進展

紀建超，顏悅，哈恩華

真空獲得與設備

超高真空大抽速復合分子泵的設計

郁晉軍，董欣，劉敏強

KM6容器粗抽過程的CFX模擬與分析

常冬林，任曉宇，杜春林，等

大型風洞用離心真空泵氣動設計

齊大偉，李偉華，李傳旭，等

230MeV超導回旋加速器束流測量裝置的設計研究

鄭俠，管鋒平，溫立鵬，等

真空冶金與熱工

基于半導體器件釬焊技術的溫度場研究

解永強，靳麗巖，楊曉東，等

金屬多孔材料真空燒結爐控制系統設計改造

戴晨，南海娟，盛小洋，等

測量與控制

螺旋波等離子體源中離子能量及其診斷

姜開銀，楊麗珍，劉忠偉，等

模糊神經網絡鍋爐溫度控制系統

許麗，吳澤明，劉旭，等

真空應用

微米級裂紋對水冷無氧銅坩堝的影響

楊光，劉歡，王丁丁，等

水蒸氣等離子體發生器工作特性實驗研究

涂軍，宋文杰，張斌，等

CF4流量及射頻功率等對反應離子刻蝕硅基材料的影響

廖榮，崔繼耀，董景尚，等

超高真空和高真空技術的應用

馬義剛，李智慧

真空技術應用系列講座

第二十一講 真空卷繞鍍膜

張以忱

信息

第十五屆國際真空科學與工程應用學術會議（VSEA-15）會議通知

東北大學

東北大學第十六期《真空技術》論壇通知

東北大學

GB/T3163《真空技術術語》修訂暨ISO3529標準轉化工作組會議在浙江省杭州市召開

全國真空技術標委會

2021年ISO/TC112/WG2第二次工作組會議順利召開

全國真空技術標委會

勘誤聲明

沈陽真空雜志社

中國真空學會2021年活動計劃表

中國真空學會